严苛工艺

用于液晶面板、蚀刻、PLASMA、ALD/CVD等严苛工艺制程

光伏太阳能

用于拉晶、电池镀膜、组件层压等工艺制程

锂电新能源

用于合浆、注液、烘烤等工艺制程

化工

用于处理蒸汽、腐蚀性气体和可燃性气体

实验室科研

用于气体循环、气体采样、抽滤、抽真空、间接抽水等实验环境需求

生物制药

用于真空冷冻、干燥等关键工艺制程